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污水处理包括城市污水、工业污水与医疗污水的处理，主要目的为杀菌消毒、去除污染物质并脱色、除味以达到排放标准。近几年由于水资源匾乏，行业主管部门制定了工业、生活污水回用的法规，提高了处理标准。
美国在本世纪七十年代初开始利用污水处理移动式臭氧发生器处理生活污水，其主要的目的为消毒并降低生物耗氧量(BOD)和化学耗氧量(COD)，去除亚酸盐、悬浮固体及脱色，已达到全面生产应用的水平。日本则在缺水地区进行污水臭氧处理后作为非食用水(即中水)循环使用。
工业污水臭氧用来对电镀含污水氧化、纺织印染污水脱色、精炼污水去酚、烷类物质等。美、日、德、法等国近年都建立了大规模的污水处理厂，我国?、印染行业也有试验性应用。
对工业含酚、、有机氨、腈、基染料、有机磷、有机氯化合物等的废水处理。用臭氧水处理污水，可使水中酚、甲醛含量降低98%。用臭氧水处理含有化物的水溶液时，化物浓度可从15mg/L降到0.25mg/L。
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